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超精密穴あけ装置

自社製ビームローテータ、ガルバノスキャナを用いて
超精密な穴あけ加工を実現

装置情報

■ ストレート穴加工
■ 真円度と自由度の高い微細穴加工
■ 丸穴・四角穴・特殊形状穴
■ 入射側と出射側の穴径・テーパのコントロール

加工対象物

樹脂、セラミック(窒化ケイ素・炭化ケイ素)、
ポリイミド、SUS、サファイア基板、人工ダイヤモンド

装置特徴

ビームローテータにより回転半径と入射角を
制御し、多様な穴形状を実現

加工事例

小径穴あけ

狭ピッチ穴あけ

ストレート穴加工

特殊テーパ穴加工