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レーザスクライブ装置

最適な加工系との組み合わせで高品質・高速加工を実現

装置情報

■ 最適加工システムを構築
■ 高スループット
■ あらゆる断面形状の加工が可能
■ UV、Gr、IRレーザを選択可能

加工対象物

窒化ケイ素、炭化ケイ素
グリーンシート、アルミナ

加工事例

窒化ケイ素

入射側

 

断面図

厚さ 0.32 mm

加工速度 167 mm/sec

幅 96 μm

深さ153 μm

グリーンシート

入射側

 

断面図

厚さ 0.30 mm

加工速度 125 mm/sec

幅 26 μm

深さ230 μm

アルミナ

入射側

 

断面図

厚さ0.18 mm

加工速度 50 mm/sec

幅 20 μm

深さ 60 μm